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<正>微纳米光学的重要特征是光学结构和器件的特征尺度在微纳米量级,是微纳米技术与微电子、激光、光电子、通信等多学科交叉而迅速发展起来的一门科学。微纳米光电元件和系统在发展上最重要的优势,除了具备体积微型化、重量超轻、集成化、规模化和低成本外,更值得注意的是可以通过微纳光学制造技术,预先能够将
《微光学和纳米光学制造技术》介绍
【摘 要】
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<正>微纳米光学的重要特征是光学结构和器件的特征尺度在微纳米量级,是微纳米技术与微电子、激光、光电子、通信等多学科交叉而迅速发展起来的一门科学。微纳米光电元件和系
【出 处】
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电光与控制
【发表日期】
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2012年11期
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