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利用神光Ⅱ上激光与等离子体相互作用得到的软X光,建立了基于多层镜的四通道软X光单色器系统.研究了光源的性能,测量了光源强度、单色器系统稳定性、相应通道的一致性.研究表明,采用多层镜作为脉冲光源的分光元件,可以得到具有较好单色性的强脉冲软X 光标定源.光源的光子能量为253 eV和820 eV,两能道的光源强度分别为1.8×1019 photon/(s·cm2)和3.2×1019 photon/(s·cm2).在该标定源上可以实现XRD、平面镜、多层镜、透射光栅和滤片的标定.