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介绍了离子注入机的结构原理、常用注入机的类型及其应用,以及夹持并冷却晶圆的关键部件——静电吸盘。构建了离子注入时晶圆的热仿真模型,对晶圆表面的温度分布进行了数值分析计算。
离子注入机静电夹持晶圆的温度仿真研究
【摘 要】
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介绍了离子注入机的结构原理、常用注入机的类型及其应用,以及夹持并冷却晶圆的关键部件——静电吸盘。构建了离子注入时晶圆的热仿真模型,对晶圆表面的温度分布进行了数值分
【机 构】
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中电科电子装备集团有限公司,北京烁科中科信电子装备有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2020年6期
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