【摘 要】
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采用一种新的工艺方法提高了垂直腔面发射激光器的输出功率.采用开环分布孔代替环形沟槽,使器件的输出功率提高了0.34倍.14μm孔径的器件输出功率超过10mW,工作电流为29.6mA
【机 构】
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采用一种新的工艺方法提高了垂直腔面发射激光器的输出功率.采用开环分布孔代替环形沟槽,使器件的输出功率提高了0.34倍.14μm孔径的器件输出功率超过10mW,工作电流为29.6mA时,最大输出功率达到12.48mW.而且,这些开环分布孔为电注入提供了便捷的桥通道,很好地解决了电极易过沟断线问题.器件表现了良好的高温工作特性,当温度高达60℃时输出功率仍可达到8mW.
A new method was adopted to improve the output power of vertical cavity surface emitting laser.The open-circuit distributed holes were used instead of annular grooves to increase the output power of the device by 0.34 times.The output power of the device with 14μm aperture was more than 10mW and the operating current was At 29.6mA, the maximum output power reaches 12.48mW. Moreover, these open-loop distribution holes provide a convenient bridge channel for electrical injection, which solves the problem of electrode easy-to-open-drain problem. The device exhibits good high temperature operating characteristics , When the temperature up to 60 ℃, the output power can still reach 8mW.
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