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采用喷涂热解法制备了以Cd2SnO4为代表的四种半导体薄膜,即Cd2SnO4,In2SnO5,TiSnO4,Zn2SnO4,测试了薄膜的半导体,光学和电学性能,得到了In2SnO5,Cd2SnO4薄膜电阻率的范围在10^-3Ω·cm和高的透射比;TiSnO4薄膜高的反射比;同时,比较溅射法对结果进行了讨论。