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高功率CO2激光器输出窗不可避免地要吸收谐振腔的激光能量,在其内部产生非均匀温度场的分布,并引起输出窗发生热形变.输出窗的热效应改变了CO2激光器谐振腔的品质因数,影响激光器的稳定性和输出光束的质量.对于输出窗准确的温度场和热形变场研究是解决热透镜效应的关键.利用半解析方法对CO2激光器在TEM00工作模式下,输出窗的温度场及热形变量场进行研究.研究方法和所得结论具有普适性,可以应用到其它具有轴对称性热模型产生的温度场、热形变分析工作中.