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设计了1.3 GHz 9-cell超导腔加速组元的真空测量系统、恒温器隔热真空获得系统、束流管道真空获得系统并成功运行.通过外推法计算隔热恒温器的放气率并计算设计隔热真空的配泵方案;采用质量流量控制器控制对超导腔的粗抽气抽速,保证流动为层流模式以防止微尘反流污染超导腔洁净度;使用基于蒙特卡洛实验粒子法的MolFlow+软件对束流管道内的压力分布进行计算,保证所配真空泵可以满足超导腔对真空的要求.最后经过实际测试,该真空系统满足1.3 GHz 9-cell超导腔加速组元的运行要求.