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目前同步辐射光束线六杆并联机构应用广泛，但六杆并联机构六维调节缺乏理论指导，调节困难，工作效率较低，为提高收敛速度和调节精度，本文分析了并联机构的特性，从相关物理模型出发，运用坐标变换法详细分析了六杆并联机构的逆运动学问题，得到六杆长度的精确求解方程组。采用MATLAB软件对系统仿真计算，得到相应的杆长变化曲线。实例应用结果表明，该方法快速有效，线性调节分辨可高于5μm，转角分辨可高于3″，完全满足实际要求，为同步辐射光束线光学平台的精密调节提供了理论依据。