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通过结合光学MEMS(Micro Electro-Mechanical System)技术对三维测量系统进行了深入研究,分析了基于MEMS的三维测量系统测量原理,完成了三维测量系统核心器件选择及测量系统的搭建,对三维测量系统的三维结构进行了设计,并对安装壳体三维结构图、器件安装板安装示意图以及测量系统整体装配效果图进行了绘制。