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概述了国内外关于超级化学镀铜填充技术的最新研究成果,主要包括应用于半导体铜互连线工艺的化学镀铜和以次磷酸钠作还原剂的无甲醛化学镀铜。介绍了不同添加剂在超级化学镀铜填充中的作用机理以及存在的问题,并提出了今后的研究方向。
化学镀铜技术的最新进展
【摘 要】
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概述了国内外关于超级化学镀铜填充技术的最新研究成果,主要包括应用于半导体铜互连线工艺的化学镀铜和以次磷酸钠作还原剂的无甲醛化学镀铜。介绍了不同添加剂在超级化学镀
【机 构】
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陕西师范大学化学与材料科学学院应用表面与胶体化学教育部重点实验室
【出 处】
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电镀与涂饰
【发表日期】
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2008年05期
【基金项目】
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国家自然科学基金(20573073);陕西省自然科学基金(2005B13)
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