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金属氧化物直热式气体传感器是一种功耗很低的气体传感器,本文叙述了金属氧化物直热式传感器的制作工艺研制的过程,并对该项技术的发展方向进行了展望。
金属氧化物直热式气体传感器的制作工艺研究
【摘 要】
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金属氧化物直热式气体传感器是一种功耗很低的气体传感器,本文叙述了金属氧化物直热式传感器的制作工艺研制的过程,并对该项技术的发展方向进行了展望。
【机 构】
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四平市吉华高新技术有限公司
【出 处】
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山西电子技术
【发表日期】
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2012年3期
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