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采用基于电化学腐蚀法制作直径80μm、长度3000μm的微细电极，分别使用微细圆柱电极和微细螺旋电极进行了加工实验，实验研究表明微细螺旋电极在孔和槽的加工中比微细圆柱电极具有更快的加工速度以及更小的加工间隙。螺旋结构在加工中有助于排出加工间隙内电解产物，显著地提高了加工效率、加工精度及加工过程的稳定性。