论文部分内容阅读
在类金刚石薄膜（DLC）光学特性的研究方面，主要工作集中在红外区光学特性，在可见区和紫外区光学特性研究方面存在空白；鉴于此详细研究了采用脉冲电弧沉积DLC薄膜在可见区和紫外区的光学特性。利用脉冲电弧离子镀技术，在石英基片上和不同工艺条件下制备了类金刚石薄膜，研究了类金刚石薄膜在紫外和可见区的光学常数、光学透过率和光学能隙。结果表明，主回路电压是薄膜的光学常数变化的主要影响因素，低主回路电压下制备的类金刚石薄膜具有较低消光系数和折射率；不同的工艺条件下制备的类金刚石折射率从2．56变化到1．89（波长400