【摘 要】
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反射式液晶空间光调制器(LC-SLM)反射基板的曲率误差和液晶盒的边缘场效应导致波前模拟精度下降问题,本文研究用LC-SLM模拟波前,通过静态误差补偿法和残差反馈法,探讨提高波
【机 构】
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哈尔滨理工大学机械动力工程学院,哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
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反射式液晶空间光调制器(LC-SLM)反射基板的曲率误差和液晶盒的边缘场效应导致波前模拟精度下降问题,本文研究用LC-SLM模拟波前,通过静态误差补偿法和残差反馈法,探讨提高波前模拟精度的有效方法。实验结果表明,LC-SLM能较好模拟基于Zernike多项式的离焦、像散、彗差和球差等8项波像差,但是具有一定的模拟误差,均方根误差(RMS)值平均为0.265λ,静态误差补偿法和残差反馈法使波前模拟误差RMS值分别降低到0.223λ和0.170λ,残差反馈法更有效。提高波前模拟精度能够使LC-SLM在自适应光学技术、飞秒激光加工、实时全息显示和光学测量等领域具有更大的应用前景。
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