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本文评述了激光溅射方法制备高温超导薄膜的特点和优势,探讨了溅射和成膜过程的基本机理,展望了激光技术在高温超导薄膜的低温制备、显微制版等超导微电子工艺中的广阔应用前景。
高温超导薄膜的激光制备技术及其展望
【摘 要】
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本文评述了激光溅射方法制备高温超导薄膜的特点和优势,探讨了溅射和成膜过程的基本机理,展望了激光技术在高温超导薄膜的低温制备、显微制版等超导微电子工艺中的广阔应用前
【机 构】
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华中理工大学激光技术研究所,华中理工大学激光技术研究所
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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1989年5期
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