可见光和近红外双带通薄膜滤光片的光谱调控

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bairuyu123
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空间对地观测的遥感相机中需要基于干涉薄膜的双光谱通道滤光片,在同一几何点上同时形成可见光(波长500~720nm)和近红外(波长(1 064±1) nm)两光谱通道的光谱位置和透射强度均需要进行精确控制。选用JGS-1石英玻璃作为滤光片基片,氧化钽(Ta_2O_5)和氧化硅(SiO_2)分别作为高、低折射率薄膜,由双离子束溅射沉积方法将52层和88层介质薄膜分别镀制在基片的两个表面上。500~720 nm波段的平均透过率达到92%,(1 064±1)nm波段的峰值透过率控制在(26±1)%的范围。
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