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扼要地介绍了物理气相沉积(PVD)的基本原理、特性、应用效果及发展趋势。
物理气相沉积的原理和应用
【摘 要】
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扼要地介绍了物理气相沉积(PVD)的基本原理、特性、应用效果及发展趋势。
【机 构】
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昆明冶金研究院昆明650031
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1996年03期
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