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利用在Zeni VDE平台下建立的梁、平板质量、集总质量、气隙、压膜阻尼和锚点等结点化基本单元模型，对一种电容式加速度计系统进行了一系列的仿真，仿真内容包括静态仿真，时域仿真和频域仿真等。仿真结果和商用仿真工具ANSYS的仿真结果以及试验数据保持良好的一致。
加速度系统的结点化模型仿真
【摘 要】
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利用在Zeni VDE平台下建立的梁、平板质量、集总质量、气隙、压膜阻尼和锚点等结点化基本单元模型，对一种电容式加速度计系统进行了一系列的仿真，仿真内容包括静态仿真，时域仿真
【机 构】
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北京大学微电子学研究院
【出 处】
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北京大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2004年3期
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