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介绍了TDR—ZY40C型单晶炉的设计思路及工作原理，结合拉制单晶的特殊工艺要求，分析了其主要结构及特点。
TDR-ZY40C型中压单晶炉的研制
【摘 要】
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介绍了TDR—ZY40C型单晶炉的设计思路及工作原理，结合拉制单晶的特殊工艺要求，分析了其主要结构及特点。
【机 构】
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西安理工大学
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2004年12期
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