【摘 要】
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本文提出了一种新型的两坐标微型驱动器,这种驱动器具有两轴共体,压电元件与带圆弧缺口支点机构一体化的特点。文中对这种驱动器的结构设计和相应的控制器设计进行了研究对整
【机 构】
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广东工学院电气工程系,广东工学院电气工程系
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本文提出了一种新型的两坐标微型驱动器,这种驱动器具有两轴共体,压电元件与带圆弧缺口支点机构一体化的特点。文中对这种驱动器的结构设计和相应的控制器设计进行了研究对整个系统的静,动态特性进行了计算机仿真与实验研究。经计量部门测定,这种驱动器的驱动范围为50μm×50μm,重复精度达0.03μm,带宽在400Hz以上,驱动力为0.74N。这种微型驱动器可作为生物医学工程和所有高精度微细加工领域中的定位和驱动装置。
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