【摘 要】
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提出了一种以MEMS技术为基础，可在低电压驱动条件下工作的创新型细胞电融合芯片．该芯片的设计原理在于通过缩短微电极间的间距，在低电压条件下获得足够强度的排队和融合电场强度
【机 构】
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重庆大学生物工程学院,重庆城市管理职业学院电子信息工程系
【基金项目】
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国家“八六三”计划（批准号：2006AA04Z343）、国家自然科学基金（批准号：30500120,30770569）和重庆市自然科学基金（批准号：CSTC2007BB5166）资助.
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提出了一种以MEMS技术为基础，可在低电压驱动条件下工作的创新型细胞电融合芯片．该芯片的设计原理在于通过缩短微电极间的间距，在低电压条件下获得足够强度的排队和融合电场强度．原型芯片以SOI硅片为加工材料，通过刻蚀方式在顶层低阻硅形成微电极和微通道；在微电极上沉淀2μm厚的铝膜以降低电阻率，提高导电性；通过PECVD方法形成150nm厚SiO2保障铝膜的抗腐蚀性及芯片生物相容性；芯片最终采用DIP法进行封装．在该芯片上进行了低电压（传统电融合设备工作电压的1／20）驱动条件下的基于介电电泳的细胞排队实验及后
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