用双频激光器的高分辨率干涉测量法

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一、引言众所周知用干涉仪测量不确定度小于10~(-3)的波长光程差已经有许多不同的方法,这些方法首先是在国家计量研究所为进行长度测量而研制出来的。本文简短地描述了二种最 I. INTRODUCTION It is well known that there are many different methods to measure the optical path length difference with the interferometer’s uncertainty less than 10 ~ (-3). These methods are firstly developed by National Metrology Institute for length measurement. This article briefly describes the two most
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