论文部分内容阅读
列举了不同的a-SiTFT-LCD制造工艺中的ITO返修工艺,详细分析了在五次光刻工艺中的电化学腐蚀问题的反应机理,并对各种返修工艺的优点和缺点进行了简要地说明。
a-Si TFT-LCD制造工艺中的ITO返修工艺研究
【摘 要】
：
列举了不同的a-SiTFT-LCD制造工艺中的ITO返修工艺,详细分析了在五次光刻工艺中的电化学腐蚀问题的反应机理,并对各种返修工艺的优点和缺点进行了简要地说明。
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林北方彩晶数码电子有限公司
【出 处】
：
现代显示
【发表日期】
：
2006年08期
其他文献
存款保险制度是一国金融稳定体系的重要组成部分,本文从博弈论出发,分析了银行挤兑出现的原因,以及存款保险制度对于克服银行挤兑的有效作用.同时分析了存款保险制度对一国经
将混合煤气加压站和转炉煤气加压站合并,创新混合加压工艺,实现4种混合煤气配比方式和3种转炉煤气并网控制,综合经济效益约4000多万元。
通过对超滤装置故障原因分析与改进,解决了超滤装置故障高发的问题,使超滤器能够保持长期高效稳定运行的状态,为后续系统的安全稳定运行提供了保障。
钻孔工艺是印制板制造技术中最为重要的工序之一。然而针对该工艺的品质保证绝非易事。钻孔工艺受钻头、设备等的影响,在品质上容易出现偏孔等不良问题。本文通过单因素分析
商贸衡器是商家与消费者间贸易结算的重要依据，有的商家为谋取更丰厚的利益，往往见利忘义，利用衡器来做手脚。下面分别就利用各类衡器作弊的常用形式作一些揭示。
<正>今天我们在这里召开全省扶贫开发工作会议,主要任务是深入学习领会习近平新时代中国特色社会主义思想特别是习近平扶贫思想,深入贯彻习近平总书记对浙江工作的重要指示精