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对2×2聚合物波导垂直耦合器的理论设计和制作过程进行了研究。首先，利用光束传播法（BPM）设计并研究了垂直耦合器的关键参数（交叉角、垂直耦合层厚度）与耦合效率和消光比之间的关系。模拟结果表明，耦合效率最高为93%，消光比最高为29dB。其次，利用标准光刻工艺制作了波导尺寸为4×4μm，垂直耦合层厚度为2μm，相对交叉角为1．0。的聚合物波导垂直耦合器。实验结果表明，采用聚合物制备波导垂直耦合器，具有工艺简单、灵活的优点。