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本文提出了一种以杠杆触针机构作为微位移传感器，将扫描白光干涉法运用于接触式表面形貌测量的轮廓仪。该仪器的理论分辩力可达纳米级，与垂直扫描测量工作台相结合，测量范围可达5mm。文中重点论述了该轮廓仪测量系统的构成，测量原理，干涉信号数据处理。
基于扫描白光干涉法的接触式表面形貌轮廓测量仪
【摘 要】
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本文提出了一种以杠杆触针机构作为微位移传感器，将扫描白光干涉法运用于接触式表面形貌测量的轮廓仪。该仪器的理论分辩力可达纳米级，与垂直扫描测量工作台相结合，测量范围可达
【机 构】
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华中科技大学机械学院仪器系
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2007年3期
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