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提出了一种用于等离子体喷溅的新型脉冲电源,从理论上分析了主电路适合等离子体溅射的原因,给出了电源的原理框图,同时也分析了溅射镀膜时发生的异常放电现象,并提出了一种全新的灭弧电路原理,实际应用证明,该电路稳定性高,工作可靠,镀膜质量好,有较大的推广价值。
脉冲溅射电源设计
【摘 要】
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提出了一种用于等离子体喷溅的新型脉冲电源,从理论上分析了主电路适合等离子体溅射的原因,给出了电源的原理框图,同时也分析了溅射镀膜时发生的异常放电现象,并提出了一种全
【机 构】
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南华大学电气工程学院
【出 处】
：
新技术新工艺
【发表日期】
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2004年04期
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