集成电路制造用光刻胶发展现状及挑战

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简要介绍了光刻技术的发展和得到更小线宽的途径.详细介绍了不同光刻技术下光刻胶的发展.基于中国光刻胶的发展现状,提出了加快光刻胶开发与应用的建议.
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