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陶瓷材料作为一种在高温和腐蚀等苛刻环境中应用的重要材料,对其制备和加工技术进行研究是非常必要的。本文在简要概述传统微机电系统（MEMS）加工技术对制备陶瓷MEMS存在的不足基础上,着重介绍了由聚合物前驱体转化法制备陶瓷MEMS的制备方法、工艺流程、优缺点及未来发展方向。
聚合物前驱体转化法制备陶瓷微机电系统
【摘 要】
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陶瓷材料作为一种在高温和腐蚀等苛刻环境中应用的重要材料,对其制备和加工技术进行研究是非常必要的。本文在简要概述传统微机电系统（MEMS）加工技术对制备陶瓷MEMS存在的不足
【机 构】
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西北工业大学院应用化学系
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2007年1期
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