【摘 要】
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本文从俘获动力学出发,推导了荷电陷阱引起的平带电压变化量随时间变化的一般形式,并对SiO_2膜中的电子陷阱密度、能级和俘获截面进行了测量.结果表明测量陷阱密度时不能忽略
【机 构】
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南京通信工程学院理化室,东南大学微电子中心
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本文从俘获动力学出发,推导了荷电陷阱引起的平带电压变化量随时间变化的一般形式,并对SiO_2膜中的电子陷阱密度、能级和俘获截面进行了测量.结果表明测量陷阱密度时不能忽略激发因素的影响.
In this paper, based on the kinetics of capture, the general form of the change of flat-band voltage caused by charge trapping over time is deduced, and the electron trap density, energy level and capture cross section in SiO_2 film are measured. The results show that the trap density When you can not ignore the impact of the stimulus.
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