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以高纯石墨作靶材、N2／Ar为工作气体，采用非平衡磁控溅射技术在高速钢上制备了光滑、致密、均匀的掺氮DLC膜。用XPS、Raman光谱仪表征了DLC膜的结构，并在球一盘摩擦试验机上研究了其摩擦特性。结果表明：工作气体中的N2比例对DLC膜结构及其摩擦特性影响较大，随着N2比例的增加薄膜中sp^3的比例减少，而sp^3和碳氮键的比例增加；随着N2比例的增加，薄膜摩擦因数先减后增，这与薄膜中sp^3比例下降和sp^3比例增加而导致薄膜的硬度以及内应力变化有关。就本试验而言，工作气体中N2比例不应高于20％。