【摘 要】
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157nm激光被视为光刻和微加工的有力工具之一,其加工的表面质量强烈依赖于激光参数。针对157nm微加工的特点,提出建立人工神经网络优化工艺参数的方法。分析与实验结果表明,
【机 构】
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武汉理工大学光纤传感技术研究中心,
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157nm激光被视为光刻和微加工的有力工具之一,其加工的表面质量强烈依赖于激光参数。针对157nm微加工的特点,提出建立人工神经网络优化工艺参数的方法。分析与实验结果表明,利用优化的工艺参数进行激光微加工,其刻蚀质量得到明显提高。
The 157nm laser is considered as one of the powerful tools for lithography and micromachining, whose machined surface quality strongly depends on the laser parameters. According to the characteristics of 157nm micromachining, a method of establishing artificial neural network to optimize process parameters is proposed. Analysis and experimental results show that the use of optimized process parameters for laser micro-machining, the etching quality has been significantly improved.
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