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CVD金刚石膜生长过程的Raman分析

来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jackzhao1

【摘 要】

：

采用激光Raman散射分析法对CVD金刚石膜的生长过程进行研究,讨论在金刚石膜生长的不同阶段,膜内金刚石和非金刚石成分的相对含量及其残余应力的变化情况.

【作 者】

：

杨仕娥 李会军 边超 王小平 马丙现 姚宁 张兵临 

【机 构】

：

郑州大学

【出 处】

：

真空与低温

【发表日期】

：

2002年2期

【关键词】

：

CVD 生长过程 金刚石膜 RAMAN散射 非晶碳 残余应力 化学气相沉积 diamond films Raman scattering amorphous c 

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采用激光Raman散射分析法对CVD金刚石膜的生长过程进行研究,讨论在金刚石膜生长的不同阶段,膜内金刚石和非金刚石成分的相对含量及其残余应力的变化情况.

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