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目前,通过化学气相沉积的方法获得不同形状的金刚石已成为令人关注的焦点.特别是"自支持"的金刚石管在高压喷头,钻头工具和注射器具等方面具有良好的应用前景.本文采用微波等离子体化学气相沉积法在钨丝上沉积金刚石,然后把钨丝芯完全溶解掉,从而制备出"自支持"的金刚石管.
微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石管及其表征
【摘 要】
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目前,通过化学气相沉积的方法获得不同形状的金刚石已成为令人关注的焦点.特别是"自支持"的金刚石管在高压喷头,钻头工具和注射器具等方面具有良好的应用前景.本文采用微波等
【机 构】
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北京科技大学材料学院
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2005年4期
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