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期刊论文
石英玻璃原料及其在半导体工业中的应用
石英玻璃原料及其在半导体工业中的应用
来源 :中国玻璃 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ironbra
【摘 要】
:
本文着重论述了石英玻璃原料现状及关键杂质对原料品质的影响,并指出了用于半导体工业中石英玻璃的市场需求及发展方向。
【作 者】
:
李佩悦
段树桐
谢恩俊
【机 构】
:
蚌埠玻璃工业设计研究院
【出 处】
:
中国玻璃
【发表日期】
:
2014年4期
【关键词】
:
石英玻璃
原料
半导体
应用
Quartz glass
Raw material
Semiconductor
Application
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本文着重论述了石英玻璃原料现状及关键杂质对原料品质的影响,并指出了用于半导体工业中石英玻璃的市场需求及发展方向。
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