计算全息光栅扫描器与制作工艺的研究

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简述了计算全息光栅扫描器的特点和优点, 以及它有可能成为解决CO2 激光成像雷达的激光扫描这一关键技术的有效途径, 并给出当蚀刻深度为λ/4 = 2-65 μm 时, 传统的加工工艺受到的障碍及给出新的加工工艺和明显的实验效果。最后给出要想使计算全息光栅扫描器成为真正满足CO2激光成像雷达扫描技术的实用型光栅扫描器, 及其在理论和加工工艺上的发展趋势 The characteristics and advantages of the computed holographic grating scanner are briefly described. It is also an effective way to solve the key technique of laser scanning of the CO2 laser imaging radar. It is also given that when the etching depth is λ / 4 = 2-65 μm , The traditional processing technology obstacles and given the new processing technology and obvious experimental results. In the end, a practical raster scanner that can make the calculation holographic raster scanner become the real CO2 laser imaging radar scanning technology is given, and its development trend in theory and processing technology
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