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以油酸和羟乙基乙二胺为原料,二甲苯为携水剂合成咪唑啉缓蚀剂,通过正交试验得出其最佳合成条件为:油酸与羟乙基乙二胺的摩尔配比为1∶1.2,酰化温度为160℃,酰化时间为4h,环化温度为220℃。将合成的咪唑啉缓蚀剂分别与十二烷基苯磺酸钠、KI和Na2WO4复配,得出咪唑啉缓蚀剂和十二烷基苯磺酸钠最佳复配比为1∶1,与KI为1∶1,与Na2WO4为1∶2。