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采用StillinRer-Weber势，利用分子动力学方法模拟了Si原子在Si（001）表面和该表面单层台阶附近扩散的动力学过程。（1）给出单个Si原子在Si（001）表面垂直于二聚体排方向扩散的扩散路径和扩散机制。Si原子在Si（001）表面垂直于二聚体排方向扩散能够减弱Si原子在Si（001）表面扩散的各向异性。（2）模拟不仅给出与以往文献中原子从SA台阶下台面扩散到上台面相同的扩散路径而且还给出原子从成键的SB台阶上台面扩散到下台面的一种新的扩散机制：增原子通过与表面原子之间的交换。从而解释实验上观