A comparative study of the properties of TiN films deposited by MAIP and FCAP

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在这研究,听电影的二种类型被准备,一使用用多弧离子小块地(MAIP ) 的有一个在里面飞机 S 过滤器的过滤 cathodic 弧血浆(大页书写纸) 技术,和其它,和两个在一样的参数下面扔了。质地,坚硬,粗糙, tribological 和听电影的二种类型的电气化学的腐蚀行为的比较被给。FCAP 技术获得的听电影被发现高度一致、光滑、 macroparticle 免费。听电影由有的大页书写纸扔了一(111 ) 比较喜欢取向,当有时,在这些电影的质地都没由 MAIP 扔。在低负担下面,二种听涂层有很不同穿机
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