【摘 要】
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本文探讨并验证了IC封装工序装片后烘烤过程的机理，结合烘烤后失重曲线的分析，重新设计了烘烤升温曲线（烘烤固化）、氮气保护（防止铜材氧化）、抽风（排出挥发物）等工艺参数。验证结果表
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本文探讨并验证了IC封装工序装片后烘烤过程的机理，结合烘烤后失重曲线的分析，重新设计了烘烤升温曲线（烘烤固化）、氮气保护（防止铜材氧化）、抽风（排出挥发物）等工艺参数。验证结果表明，重新设计后的烘烤过程，克服了装片胶挥发污染、铜材氧化这两个对产品可靠性影响最关键的不利因素，降低了装片烘烤工艺对产品可靠性的影响。
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