扩散型硅压阻器件

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半导体应变计具有极高的灵敏度而引人注目,其灵敏系数高达100—150,比金属电阻应变丝大数十倍。由于这一优点,已有各种半导体应变计的传感器(也称变送器或转换器)应用到机械参量的测量技术中,把各种力学量转换为电学量。最近十年来,随着半导体技术的发展,采用先进的集成电路技术,在一块硅片上形 Semiconductor strain gauges with high sensitivity attract the attention of its sensitivity coefficient of up to 100-150, tens of times larger than the metal resistance strain wire. Due to this advantage, sensors for various semiconductor strain gauges (also known as transducers or transducers) have been applied to measurement techniques of mechanical parameters to convert various mechanical quantities into electrical quantities. The last decade, with the development of semiconductor technology, the use of advanced integrated circuit technology, the shape of a silicon
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