在多线切割加工过程中,断线是最严重的质量事故往往导致昂贵晶体材料的报废。如何选择合理的工艺参数保证钢线可靠性成为实际生产中亟待解决的问题。提出一种多线切割线网可靠度的评价方法。假设不同磨损量下钢线的断裂强度符合威布尔分布,采用线性回归法求取不同磨损量下钢线断裂强度的威布尔参数,推导出磨损钢线可靠度与张力及磨损量函数关系,建立线网串联离散模型,结合可靠性理论评价线网可靠度。为了验证该方法的实际效果,进行加工实验对该方法进行验证。试验结果表明:威布尔分布能较好地描述磨损钢线的断裂强度分布;线网可靠度与钢线张力及线网磨损量存在复杂的非线性关系;当线网最大磨损量取4μm,7μm,10μm不同值条件下,当张力小于25 N,线网可靠度差别小,随着张力进一步增大,线网可靠度呈现抛物线降低,线网最大磨损量越大,线网可靠度下降速度越快;在张力为20 N、25 N、30 N条件下,线网最大磨损量从2μm到10μm时,线网可靠度分别呈现接近直线、平稳下降、断崖式下降后趋于平稳下降三种完全不同的现象。线网可靠度评价方法为合理选择张力控制最大磨损量防止断线事故的发生提供了理论依据。