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利用低温Ｒａｍａｎ散射光谱分析，比较了４种典型处理的Ｃｄ０．９６Ｚｎ０．０４Ｔｅ表面声子散射信号和表面元素沉积的变化。对－２２０－－９０ｃｍ＾－１的反斯托克斯分量进行分析得出，ＢＭ液腐蚀后的表面晶格完整性最好；ＬＢ液处理有利于进一步改善表面粗糙度和表面漏电流，离子轰击的表面缺陷多，质量差，但对制备良好欧姆接触的电极有现实意义，实验证明Ｒａｍａｎ散射光谱对于探测表面上元素的沉积和分析表面质量的变化，