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摆臂机构是一些半导体封装设备上的重要组成机构,其运动的稳定性是整个封装动作的关键。由于其高速运动的特性容易引起机构振动造成产品品质下降,通过对摆臂机构进行分析,采用模拟量PID控制和S形速度曲线,对摆臂机构的两个伺服电机进行运动规划,有效地抑制了摆臂在吸固晶时产生的振动,并缩短了工作周期,从而提高了设备的效率和精度。