【摘 要】
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研究定向凝固对提高多晶硅提纯工艺具有重要意义。进行全尺寸的多晶硅定向凝固实验周期长,成本高,采用与液态硅热学、流体力学性质相近的低温流体进行模拟实验,实验设备简单
【机 构】
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厦门城市职业学院机械与自动化工程系;
【基金项目】
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福建省中青年教师教育科研项目（编号：JAT171051）
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研究定向凝固对提高多晶硅提纯工艺具有重要意义。进行全尺寸的多晶硅定向凝固实验周期长,成本高,采用与液态硅热学、流体力学性质相近的低温流体进行模拟实验,实验设备简单灵活,成本低廉,实验周期短。采用常规加热与新型点状热源加热方式进行对比实验,实验结果表明,用点状热源加热减少了加热器的布置数量,依然可以维持固液界面的水平,较常规加热方式降低能耗约37%,可以为多晶硅的实验与生产工艺提供参考。
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