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阳极氧化制备铝磁性膜的研究
阳极氧化制备铝磁性膜的研究
来源 :清华大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:piglolo1987
【摘 要】
:
对用阳极氧化技术制备铝磁性膜进行了实验研究;用扫描电子显微镜、X射线光电子谱法、卢瑟福背散射谱法等表面分析手段对Al磁性膜的形貌、大小、厚度以及磁性膜中的元素分布作了分
【作 者】
:
白新德
邱钦伦
尤引娟
【机 构】
:
清华大学材料科学与工程系
【出 处】
:
清华大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1996年12期
【关键词】
:
阳极氧化
磁性分析
垂直磁记录
光电子谱法
扫描电子显微镜
微孔
卢瑟福背散射
工艺条件
元素分布
扩孔处理
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对用阳极氧化技术制备铝磁性膜进行了实验研究;用扫描电子显微镜、X射线光电子谱法、卢瑟福背散射谱法等表面分析手段对Al磁性膜的形貌、大小、厚度以及磁性膜中的元素分布作了分析。实验表明,Al以Al2O3形态存在,Co离子主要沉积于铝膜微孔底部。并测量了不同工艺条件下磁性膜的矩形比
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