阳极氧化制备铝磁性膜的研究

来源 :清华大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:piglolo1987
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对用阳极氧化技术制备铝磁性膜进行了实验研究;用扫描电子显微镜、X射线光电子谱法、卢瑟福背散射谱法等表面分析手段对Al磁性膜的形貌、大小、厚度以及磁性膜中的元素分布作了分析。实验表明,Al以Al2O3形态存在,Co离子主要沉积于铝膜微孔底部。并测量了不同工艺条件下磁性膜的矩形比
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