【摘 要】
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精密测量是精密机械加工的基础,是制造行业中影响制造精度的决定性因素之一,在当代精密机械制造领域应用广泛。基于光栅的精密位移测量系统以其对环境要求小,测量分辨率高等
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金(No.51505078);吉林省科技厅优秀青年人才基金(No.20180520187JH);吉林省教育厅“十三五”科学技术项目基金(No.JJKH20190544KJ);中国博士后面上基金(No.2018M641778)~~
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精密测量是精密机械加工的基础,是制造行业中影响制造精度的决定性因素之一,在当代精密机械制造领域应用广泛。基于光栅的精密位移测量系统以其对环境要求小,测量分辨率高等优点,在精密位移测量领域占据重要位置。基于光栅的精密位移测量系统包括光学测量系统、信号接收、电子学细分及整体装调几部分。本文主要针对光学测量光路部分进行综述介绍。首先介绍了经典光栅干涉位移测量原理;其次,综述了基于光栅的精密位移测量系统的关键技术现状;再次,对比分析了几种最具有代表性的测量技术,总结其优缺点;最后,对基于光栅的精密位移测量技术进行
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