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采用射频磁控溅射制备Mn掺杂CuO薄膜样品。X射线衍射结果说明薄膜样品为单相结构且沿（111）取向生长。通过样品的XRD精修得到样品的结构和晶格参数，掺杂后薄膜晶体结构有微小畸变。薄膜的高分辨透射电镜研究证明了对结构和晶粒大小等的精修结果，且同时说明Mn以替代Cu的形式掺入了CuO晶格中。通过对样品M1T曲线的分析，得到样品的居里温度为96．5K，近邻Mn离子之间的耦合为铁磁性，并由居里外斯拟合得到Mn离子的有效磁矩为3．1μa。这说明磁性不是来自于团聚的Mn原子或铜锰的其它氧化物，而很可能来自于替位的锰