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介绍工作波长为193am的投影光刻物镜的研制，时结构型式的确定和材料的选择以及加工装配工艺进行充分考虑，提出投影光刻物镜结构设计和装配方法．本文研制的镜头在光刻机中获得了广泛应用．
光刻机镜头的结构设计与装配
【摘 要】
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介绍工作波长为193am的投影光刻物镜的研制，时结构型式的确定和材料的选择以及加工装配工艺进行充分考虑，提出投影光刻物镜结构设计和装配方法．本文研制的镜头在光刻机中获得了
【机 构】
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天津理工学院机械工程学院
【出 处】
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天津理工学院学报
【发表日期】
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2004年1期
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