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针对目前MEMS材料力学性能测试方法应用过程存在的问题,文章从实践角度出发,分析了MEMS薄膜材料力学性能测试方法的应用现状,并提出了试样试验方法应用的要点,其目的是为相关建设者提供一些理论依据。结果表明,只有在明确测试方法应用控制问题的情况下,才能将最具效用的材料力学性能测试方法作用于实践,进而提高其作用于工程建设的安全可靠性。