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真空电子束焊接具有许多特点，用于精密传感器的封装焊接和特殊焊接是非常合适的，本文专题介绍真空封装和半穿透焊接技术。
精密传感器的电子束真空封装和半穿透焊接技术
【摘 要】
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真空电子束焊接具有许多特点，用于精密传感器的封装焊接和特殊焊接是非常合适的，本文专题介绍真空封装和半穿透焊接技术。
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,中国科学院电子学研究所北京市100080,北京市100080,北京市100080
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1994年5期
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